CVD 반응기 용기 가열

유도 가열 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 반응기는 가열 효율을 향상시키고 가스 입구와의 유해한 자기 결합을 줄이는 것을 목표로 하는 기술입니다. 기존의 유도 가열 MOCVD 반응기는 유도 코일이 챔버 외부에 있는 경우가 많으며, 이로 인해 가열 효율이 떨어지고 가스 전달 시스템에 자기 간섭이 발생할 수 있습니다. 최근의 … 자세히 보기